探針台堅固穩定,用於研究有源和無源的高級器件。雙筒目鏡和三倍光學變焦顯微鏡(包括廣角目鏡)支持20倍的放大,LED環形照明器,帶隔離和遮罩卡盤的精密x-y平臺,真空保持和Z-提升。探針台配置包含真空泵。具有專業功能的探針環境。被測器件的移動不影響探針的定位,便於操作。
RTI-30的規格
4“不銹鋼真空吸盤
真空環x1
側驅動卡盤階段X-Y 3“-3”
解析度10微米
壓板杆x2(東/西)
Chuck Theta 30度
微定位
線性X-Y-Z行程12mm-12mm-12mm
40螺紋/英寸
不銹鋼絲杠
磁鐵底座
右手使用
微定位
線性X-Y-Z行程12mm-12mm-12mm
40螺紋/英寸
不銹鋼絲杠
磁鐵底座
左手使用
Tip固定
彈簧類型Tip固定
同軸電纜長1.5米,端接BNC公頭
探針
5微米直徑
一盒10個
立體顯微鏡
E.P. 20倍
縮放1x-5x
總放大倍率20x-100x
對於20μx 20μ或面積更大的目標
帶有光強度調節的LED環形燈