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NanoSpec II擴展了業界公認的NanoSpec系列的範圍和性能,引入了一種新型設計,具有自動化樣品對準,快速自動對焦和測量重複性優於1Å。
NanoSpec II結合Nanometrics功能強大的重新設計的光譜反射率分析軟體NanoDiffract®,自動圖案對準的影像處理和各種光學配置選項,使NanoSpec II實現了同類中強大的薄膜測試系統的自動化。
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