可用DLTS模式
C-DLTS (電容DLTS)
CC-DLTS(恒定電容DLTS,帶有CC元件)
I-DLTS(電流DLTS )
Q-DLTS(電荷DLTS)
FET DLTS(三端DLTS,包含第二個電壓源)
DD-DLTS(瞬態差別DLTS)
ITS(等溫瞬態(C或I)譜)
PICS(光致瞬態(C或I)譜
Capture DLTS(捕獲瞬態測量)
Laplace DLTS(對數瞬態測量和評估)
MIS-Nss DLTS(表面狀態密度測量和評估)
MIS-Zerbst DLTS(少數載流子產生/壽命測量)
C(V),I(V),C(t),I(t)
耦合DLTS
使用28個不同的耦合器（軟體）
對於一個測量參數組，只需要一個溫度掃描28個溫度掃描和28個Arrhenius繪圖點
18不同的測量參數集 (偏壓、脈衝電壓/寬度/模式等) 可以定義為在一個溫度掃描中測量
傅立葉DLTS
直接時間常數DLTS
拉普拉斯DLTS
計算瞬態中一個或多個 時間常數的逆拉普拉斯變換 (C、CC、I、Q 等)
HERA DLTS
利用特殊的重折疊數學對重疊的tempscan或ITS信號進行解卷積
脈衝發生器電壓範圍 ±100v,解析度0.3mV
脈衝寬度 1us-1000s
電容測量的高頻信號 1M Hz
電容補償範圍 1pF- 3300pF
HF–頻率: 1M Hz
HF-信號: 100mV
電容測試範圍 2pF,20pF,200pF,2000pF,自動或手動
電容測試靈敏度 0.01fF
電流放大器最大測試電流: 15mA
電流放大器電流解析度 10pA
數位瞬態記錄器最大採樣 64000點
數位瞬態記錄器採樣間隔 2us-4s
耦合方式 提供28種耦合方式,包括Boxcar和Lock-in方式.一次變溫即可得到28組曲線和資料點
單個溫度點測試參數序列 單溫度點設置18種測試參數序列,無需重複變溫即可得到不同測試參數
測試模式
C-DLTS (Capacitance DLTS)
CC-DLTS (Constant Capacitance DLTS , with CC option)
I-DLTS (Current DLTS )
Q-DLTS (Charge -DLTS)
FET DLTS (3 term DLTS 2 nd voltage source included as a standard)
DD-DLTS (Transient difference DLTS)
ITS (Isothermal Transient (C or I) Spectroscopy )
PICS (Photon induced transient (C or I) spectroscopy
Capture DLTS (capturing transient measurement)
Laplace-DLTS (Logarithmic transient measurements and evaluations)
MIS - Nss DLTS
