無論您的特定晶圓檢驗要求是什麼，Nanotronics都提供了一系列的解決方案以快速的獲得結果。
這個緊湊的系統是為最大200mm的晶圓片的高通量宏觀檢測而設計的。以毫秒為單位, nSpec® Macro能根據視場或晶圓尺寸自動檢測和量化50至100微米的缺陷。
nSpec® Macro允許照亮整個樣品的大小，可以程式設計控制照明角度和/或照明向量。亮場、暗場、正交和可配置的斜向照明角度與單獨可修改的led配對，調整亮度、顏色和照明位置。
系統可以自動匯出一個csv檔，並且與SECS/GEM相容，或者可以根據客戶需求進行定制。
自動晶片處理
Nanotronics自動化nSpec® Macro擁有符合行業標準要求的晶圓裝載機。
Nanotronics創建了一種末端效應器，它可以裝在整個晶圓片包括邊緣隔離區。每一個末端效應器設備都是根據客戶的需要設計的。
晶片裝載機
每次一盒卡夾：標準h-bar 卡夾
標準晶圓片尺寸: 50、75、100、150或200mm
尺寸(W x D x H): 71釐米x 74釐米x 67釐米
體重: 62公斤
最小真空要求:20英寸Hg
電源:220v, 3.5安培
控制軟體
recipe易於配置，並可根據需要進行保存。多次掃描可以連續運行完成。在光照角度，強度和波長方面的有很好的靈活性。
光學
暗場照明模式
光照角度:0度
斜照明模式
照明角度:0到80度
明場照明模式
照明角度:90度
正交照明模式
照明角度:90度(透過鏡頭)
