Wentworth Pegasus™FA系列晶圓探針台為多功能性和易操作性設定了最高標準。 Pegasus™S300FA半自動晶圓探針台是許多應用的理想平臺，它使用多種提高生產率的附件，並適應升級以滿足未來的探測要求，是一種非常通用的探針平臺，專為故障分析應用，器件表徵，直流，低洩漏，高壓，射頻/微波，晶片， 小批量12寸晶圓測試而設計
Pegasus™S300FA支援300mm的全部和部分晶圓
支援各種懸臂探針卡
自動和手動方式的探針座
可程式設計和手動顯微鏡安裝座
用於切割和打標的雷射器
變溫載台及各種其他配件 帶有操縱杆和LCD監視器顯示幕的Pegasus™主控台具有簡單的功能表，使使用者可以輕鬆操作
可選的實驗室™軟體讓使用者能夠設計複雜的測試程式
實驗室™與領先的測試儀無縫連接，同時與所有探針台系統附件進行通信 由Wentworth獨有的校準工藝，精密滾珠絲杠和步進電機可在寬溫度範圍內提供可重複的精度
頻率 ：dc > 100Mhz
擊穿電壓 ：500V
閃電: +/-10fa-65°c > + 200°c +/20fa + 200°c > + 400°c
探針台
精密滾珠絲杠和步進電機
旅行 310x400 毫米
解析度 0.312 微米
重複 ±4.0 微米
精度 ±5.0 微米
平整度 8μm
最大速度 100mm/秒
Z平臺
精密滾珠絲杠和步進電機
行程 11毫米
解析度 0．156 微米
重複 ±1.0μm
行程 ±8.0°
解析度 0.0001 °
可程式設計顯微鏡
步進電機
行程 50毫米 x50 毫米 x100 毫米
解析度 0.15 微米
重複 ±1.0μm
精度 ±2.5μm
探针平臺
驅動類型 步進電機
Z平臺 18毫米
材料 鍍鎳鋼鍍鋼
圖形化使用者介面
Windows7、8.1 和10
通信介面
PC TTL RS232,GPIB(IEEE488.2)乙太網
廠務
供電 100-240 vac 50/60 hz 選擇600VA
真空 0.5 cfm @ 20 "hg (分鐘)
壓縮空氣 4帕/分钟
外形尺寸
探針台(不包括光學) 880x875x610mm
控制器 450x480x180mm
遮罩
光遮罩 > 120 分貝
電磁遮罩 > 20 分貝 0.5-0.5 ghz, 30 d0.5-3ghz
重量
探針台 131公斤
