Wentworth M200FA手動分析晶圓探測器可提供高達200mm（8英寸）的晶圓，可提供經濟高效的探針台，用於故障分析，器件表徵和線上工藝驗證。 其緊湊的設計和廣泛的功能集非常適合各種應用，包括：小型幾何探測; 使用高功率光學的應用; 設計調試; 晶圓級可靠性（WLR）和靜電放電（ESD）。
M200FA晶圓探測器可配置GuardMaster™，一個有保護的環境室，以適應低水準和低溫洩漏測試。 M200FA晶圓探測器的控制位置便於位於系統前部，可對8英寸平臺進行精細和粗略定位。 載片台的Z控制器也位於系統前端，提供可變的Z運動以及對基板探測的精細控制。
M200FA晶圓探測器可輕鬆設置，定位和調整探針座。 M200FA晶圓探測器堅固，穩定的探測平臺除機械手外還可接受各種附件，包括標準和定制的載片台; 手動，電動或可程式設計顯微鏡支架; 來自領先光學制造商的顯微鏡，針座元件，抗振動臺等。
直流參數
頻率: d c > 100mhz
擊穿電壓: 500v
洩漏: +//10fA -65°C > + 200°C +/20fA + 200°C > + 400°C
高功率配置
電壓: 3kv (三軸), 10kv (同軸)
電流: 200 A (脈衝)
漏電: < 1pA(3kv)
變溫載片台:-65c 至 + 400c
XY 平臺
X行程： 210mm 手動調節
Y行程： 210mm 手動調節
線性調節規格
粗調 1：1 70um/度
細調 10：1 7um/度
載片台
載片台平整度： 小於10um
theta角： 15度
升降：精細移動250um
細調10：1 7um/度
物理尺寸： 840x842x610mm
重量 131kg
遮罩： 光屏 蔽：>120db 電磁干擾遮罩 >20 Db0.05-20ghz 30db 0.5-30ghz
