ESD-1100ELC測試儀是世界上第一個商業上可用的ESD測試系統,該系統將所有ESD、閉鎖和CDM測試結合在一個系統中——設備多達256個大頭針。如果配備了專用的DUT板(如下一頁的DUT板實例2),則非供應銷與供給針ESD測試可自動測試高達1350個銷對,儘管這是某種簡化的ESD測試。該系統可包括128或256針的全針組合ESD測試功能,以及多達4個Vcc的供應延遲測試能力,以及符合JEDEC標準的CDM測試,可選擇滿足ESDA或JEITA標準。
型號1100E:支援HBM和MM ESD測試。
型號1100EL:支援HBM, MM和latchup測試。
型號1100ELC:支援HBM、MM、latchup和CDM測試。
通過ESD測試,可以測試設備損傷與ESD應力之間的關係。ESD應力包括人體模型(HBM)和機器模型(MM)。模型1100E包括HBM和MM,但是其他的應力模型可以很容易地包括在選項中。任何128或256針可以程式設計為ESD返回別針(終端B),因此許多ESD標準所需的全部銷組合測試是被允許的。最新的測試測量了CMOS設備的最新靈敏度,檢測了拉升電流(在檢測到的延遲)。電流脈衝、電壓脈衝和電壓脈衝電源都被包括在基本系統中,作為閉鎖的觸發源。此外,如果需要,HBM和MM ESD脈衝可用於觸發閉鎖。
其他的鎖存觸發源可以作為選項安裝,這樣就可以對暫態掛接進行評估。為了得到一個穩定的閉鎖測試結果,穩定設備內部條件和供給電流是非常重要的。所有別針的引體向上功能都由基本配置提供。時鐘和模式生成也是一個選項。CDM測試儀的基本配置,型號為1100ELC,將包括JEDEC的空氣排放清潔發展機制(CDM)頭,它可以刺激外場誘導的CDM (FI-CDM或F-CDM)。可選地,其他清潔發展機制的主管也可以提供如清潔發展機制(簡稱“清潔發展機制”),以及為ESDA或AEC標準提供的清潔發展機制。所有CDM模型都類比了由帶電設備金屬端子接觸外部金屬所引起的快速空氣放電應力。
· HBM:±5V到4500V/ 5V
· MM:±5 V到1000 V/ 5V
· HBM:±8000V (選項)
· 電壓精度:±5%+5V程式設計值
· Pin腳選擇:2軸機器人自動定位
· 標準:MIL,JEDEC,JEITA,ESDA,AEC
· VF:±10mV~±50V,3位,精度:2%±20mV
· IM:±10nA~±100mA,精度:2%±20nA
· 5年保修(可選)
CDM測試參數
· 模式:D-CDM或F-CDM
· 規範:JEDEC,JEITA,ESDA,AEC
· 最大Pin數:1500
· 定位精確度:±0.05mm
· 定位方式:CCD camera