Intevac Vertex™系統實現了模組化設計概念,允許在單一系統中處理各種光學薄膜。 Vertex公司生產的塗層之一是一種專利的、透明的、耐磨損的顯示玻璃塗層。
Intevac對Vertex PVD系統進行了優化,用於智能手機、平板電腦、可穿戴電子產品和汽車信息娛樂系統等消費移動電子產品的塗層。該設備適合研發線和試驗線。
• DiamondClad™ - Intevac提供類似藍寶石塗層(DLC)的抗劃傷性能,高 sp3 % 和 ta-C,實現超強抗劃傷,硬度及防環境腐蝕。
• 垂直濺射
• 半自動操作
• 小基板加工
• 模組化平臺設計
• 最大可支持襯底尺寸為330mm x 250