ENERGi - 產線化離子植入設備, 適合雙面型, n-TOPCON, IBC and PERC (可選擇不同的放電針) 電池片工藝
ENERGi的應用：
• n型和p型平面均勻摻雜.
• n型和p型圖案化摻雜.
• 優於其它技術的硼離子植入
·可在連續離子源流動情況下完成單次製程
· 可通過光束的快速調整來控制摻雜分佈
· 可提供極佳的均勻性和分佈控制能力
· 也可提供硼、磷植入能力
· 最大可支持166mm方型襯底，大尺寸晶圓可輕易兼容
· ENERGi 以被驗證可實現電池片效率提升>1%
· 行業領先的產能-每小時3000片
· 行業領先的設備運行時間-> 90%
· 較低的運營成本
