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Vertex Marathon™ 是 Vertex 系列的最新一代產品，具有高產能，專為大批量製造而設計，用於處理 200mm 和 300mm 襯底樣品，具有獨特的工藝能力和專利應用，特別適用於不同的金屬膜和ITO塗層。
• 樣品基板取放簡單
• 選件支持包含FOUPS和機械手的EFEM
• 高精度的樣品基板定位，且重復性高
• 無需打開真空腔體下的多層不同材料的沈積
• 采用ICP技術的蝕刻
• 具備圓柱形旋轉脈沖直流磁控濺射(CMAG)技術
• 高產能，低運營成本
