平板顯示製造

Intevac Vertex Marathon™ 矽基OLED多層薄膜PVD設備

產品型號：Vertex Marathon™
制造原廠：Intevac

Vertex Marathon™ 是 Vertex 系列的最新一代產品，具有高產能，專為大批量製造而設計，用於處理 200mm 和 300mm 襯底樣品，具有獨特的工藝能力和專利應用，特別適用於不同的金屬膜和ITO塗層。

• 可支持EFEM功能

• 產能可達到50WPH

• 樣品基板取放簡單

• 具備優良的基板沈積的準確性和重復性

• 無需打破真空即可在各種材料堆疊選項中進行多層沈積

• 采用ICP技術

• 具備線性脈沖直流磁控濺射技術

• 具備圓柱形旋轉脈沖直流磁控濺射

(CMAG)技術

• 具備線性掃描磁陣列(LSMA)技術