採用光譜反射法,利用內置光源產生380nm-1000nm的光並利用光柵進行分光後,通過光纖出光端的透鏡,將其聚焦,形成1mm直徑的光束,垂直照射在被測樣品,利用CCD探測器獲取反射光譜和透射光譜,並據此計算薄膜厚度
光譜範圍 380nm – 1000nm
選配 上至1700nm 或者 下至240nm
光譜解析度 0.3-2nm
全波段測試反射率 有,可得到數百個不同波長的反射率
反射率測試重複性 0.01%, @600nm
折射率測試 有
測試光斑大小 2 mm
選配 24um 或60um,型號FilmTek 1000M
光源 鎢鹵素燈,壽命最高10000小時
反射率最強測試功能 有,系統自動判斷最強放射率並進行測試
薄膜厚度測試範圍 10nm-150um
測試距離(厚底材測試能力) 專用光學鏡頭設計,針對厚膜和較厚底材,可以直接相容,膜厚測試最高還可擴展到350um
厚度測試精度 ±2Å for NIST traceable standard oxide 1000Å
可測試薄膜層數 確保3層及以下,最高可達6-8層
反射率測試 有
反射率測試重複性 0.01%, @600nm
折射率測試 有
平臺 標配:全固態平臺,最大相容到8inch,
可選配-軟體控制多點移動並繪製多點圖譜
