PLM8000是一款針對8”以內晶圓所需IC設計，失效分析，可靠性測試等應用的手動探針台，尤其針對小尺寸晶粒的點測
· 佔用空間小
· 相容于不同應用需求
· 堅固耐用，高穩定性的探針平臺
· 可調節式載盤
· 大空間操作平臺
· X軸 行程210 mm (8.25”)
· Y軸 行程 235 mm (9.25”)
· 間距為25mm(1 ")線性螺杆
· 205 mm (8”) 鋁制載片盤表面鍍鎳
· 平整度8µm(0.0003”)
選項和配件
· 手動自動可程式控制顯微鏡移動模組
· 失效分析用雷射器
· 封裝後器件夾具
· 磁力或真空探針座
· 探針卡夾具
· 電磁遮罩箱
物理尺寸
· 寬度620毫米
· 深度680毫米
· 高度610毫米
· 重量84公斤
· 真空0.5 cfm @ 20“Hg”
