用於光伏應用的反射分光光度法
帶自動XY平臺的FilmTek™太陽能 FilmTek™積分球
FilmTek™Solar是一款精確且經濟的薄膜厚度測量系統，專為紋理基材設計。與競爭的橢偏儀設計不同，FilmTek™Solar不需要特殊的臺階傾斜或樣品對準。通過將小的測量光點尺寸與大的收集角度相結合，可以獲得無粗糙和紋理基底的極佳信噪比，無需樣品對準。FilmTek™軟體自動類比紋理單晶矽基板的多次反射，以提供準確的膠片測量。FilmTek™Solar特別適用於測量織構化矽襯底上的抗反射塗層（如沉積在單晶矽和多晶矽襯底上的氮化矽薄膜）。
FilmTek™套裝軟體含完全用戶可定制的映射功能，可快速生成任何測量參數的2D和3D資料圖。除使用者定義的模式外，標準地圖模式還包括極座標，XY，rθ或線性。
FilmTek™積分球測量放置在球體10.3 mm樣品埠上的平整表面的總體積反射率。照明是由一個內部鹵鎢燈提供的，該鎢鹵素燈擋住了樣品上的入射光從球壁反射回來。球體的高朗伯內部提供了一個統一的180°照明場。手動開關可以測量漫反射或鏡面反射和漫反射。FilmTek™積分球是用於測量光伏應用的全集成反射率和膜厚度的理想解決方案。
對於薄膜光伏應用，我們推薦使用FilmTek™2000和FilmTek™3000系統來表徵帶隙，層厚和粗糙的介面層，這對於最大限度提高光伏器件效率至關重要。
測量功能：
FilmTek™Solar將SCI的廣義材料模型與先進的全域優化演算法相結合，可同時測定：
多層厚度
折射率[n（λ）]
消光（吸收）係數[k（λ）]
低成本
FilmTek™Solar的擁有成本只是可比儀器的一小部分。
直觀的
FilmTek™Solar軟體的設計使得在薄膜光學設計或測量技術方面需要最少的經驗。
硬體
FilmTek™太陽能/集成球體包括：
紫外/可見/近紅外分光光度計
UV / VIS / NIR光源
光纖電纜
自動舞臺與光學
運行Windows™7作業系統的多核處理器的電腦
FilmTek™太陽能技術規格 | |
薄膜厚度範圍： | 3nm的-150μm的 |
薄膜厚度準確度： | ± 2 埃為NIST可追蹤標準氧化物1000 埃到1微米 |
光譜範圍： | 波長為240nm-950nm |
測量點大小： | 1毫米 |
樣本量： | 2mm至156mm標準 |
光譜解析度： | 為0.3nm |
光源： | 受控氘鹵素燈（壽命2,000小時） |
檢測器類型： | 2048圖元索尼線性CCD陣列 |
600納米（1 秒）的反射靜態重複性： | 0.01％ |
測量時間： | 每個部位<1秒（如氧化膜） |
資料獲取時間： | 0.2秒 |
電腦： | 帶有Windows™7作業系統的多核處理器 |
FilmTek™積分球技術規格 | |
薄膜厚度範圍： | 為10nm-50um |
薄膜厚度準確度： | ± 2 埃為NIST可追蹤標準氧化物1000 Å到1nm |
光譜範圍： | 在380nm-950nm |
測量點大小： | 10.3毫米 |
樣本量： | 15mm至300mm標準 |
光譜解析度： | 為0.3nm |
光源： | 規定的鹵鎢燈（900小時壽命） |
檢測器類型： | 2048圖元索尼線性CCD陣列 |
600納米（1 秒）的反射靜態重複性： | 0.01％ |
測量時間： | 每個部位<1秒（如氧化膜） |
資料獲取時間： | 0.2秒 |
電腦： | 帶有Windows™7作業系統的多核處理器 |
性能規格 | |||
電影（S） | 厚度 | 測量參數 | 精度（1σ） |
氧化物/矽 | 100-10,000Å | t | 0.5Å |
氮化物/矽 | 100-10,000Å | t | 0.5Å |
