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Qstream-FM 系列是場强計監控系統。基於特殊的場强傳感器,它可以提供與EOS/ESD過程相關的精確的非接觸測量。Qstream還提供數據采集,可將測試結果上傳到客戶主機系統或在自有軟件中顯示,可通過多種設置進行遠程報警和報告,易於安裝在工藝設備内部。
測量範圍
Qstream-FM-20k: ±20kV直流或峰值交流
測量精度
優於整量程5%±讀數2數位
探針與表面距離為
Qstream-FM-20k: 25 mm