半自动四点探针Mapping测试仪

  • 产品型号:Cresbox
  • 制造原厂:Napson Corp.
  • 测量点位图形可任意编程

  • 测量范围广,带自我测试功能

  • 针对硅晶圆测量,具有厚度/边缘效应/温度补偿功能

  • 可通过面电阻换算膜厚    


  • 样品尺寸:
    支持最大8寸,或156x156mm

  • 测量范围:
    [R] 1m~300k Ω・cm
    [RS] 5m~10M Ω/sq