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测量点位图形可任意编程
测量范围广,带自我测试功能
针对硅晶圆测量,具有厚度/边缘效应/温度补偿功能
可通过面电阻换算膜厚
样品尺寸:支持最大8寸,或156x156mm
测量范围:[R] 1m~300k Ω・cm[RS] 5m~10M Ω/sq