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紧凑型设计,操作方便
将晶圆放置于探头下面即自动开始测量
通过JOG旋钮快速设定测量条件
5个不同测量范围的型号可供选择
样品尺寸:支持最大8寸,或156x156mm
测量范围:[R] 1m ~ 200 Ω・cm[RS] 10m~3000 Ω/sq
该测量范围由低,中,高,超高阻值的不同测量探头来覆盖