非接触式面电阻测试仪

  • 产品型号:EC-80
  • 制造原厂:Napson Corp.
  • 紧凑型设计,操作方便

  • 将晶圆放置于探头下面即自动开始测量

  • 通过JOG旋钮快速设定测量条件

  • 5个不同测量范围的型号可供选择    


  • 样品尺寸:
    支持最大8寸,或156x156mm

  • 测量范围:
    [R] 1m ~ 200 Ω・cm
    [RS] 10m~3000 Ω/sq

  • 该测量范围由低,中,高,超高阻值的不同测量探头来覆盖