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探头接触样品即自动开始测量
3种测量模式为晶圆电阻率,体电阻率,面电阻率
通过JOG旋钮快速设定测量条件
5种测量范围探头可根据样品电阻率进行更换
样品尺寸:可测量任意尺寸和形状的样品(*大于20mm直径及测量表面需要平整)
测量范围:[R] 1m ~ 200 Ω・cm[RS] 10m~3000 Ω/sq
该测量范围由低,中,高,超高阻值及适合太阳能硅片的不同测量探头来覆盖