半导体
集成电路工艺
电阻率/PN性/少子寿命

非接触多点面电阻测量系统

  • 产品型号：NC-80MAP
  • 制造原厂：Napson Corp.

  • 面电阻值测量范围广，最多可以安装4个探头

  • 最小离边测量距离为7mm

  • 客户可编程测量点位及条件

  • 选件：厚度测量探头（针对硅片）    


  • 样品尺寸：
    2~8寸 （选件:8寸)

  • 测量范围：
    [R] 1m~200 Ω・cm
    [RS] 10m~3,000 Ω/sq

  • 该测量范围由低，中，高，超高阻值的不同测量探头来覆盖    


NAP-NC-80MAP
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