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测量探头由冷热两个电极组成
可测试各种类型样品,如单晶硅片,硅锭,硅棒等
两种类型探头可选:1) 冷热探头分离式2) 冷热探头组合式
样品尺寸:大于2寸
测量范围:
可测试PN极性的样品电阻率范围: 1m~20k Ω・cm
多晶硅,硅衬底上的薄膜,硅衬底上的氧化薄膜不能测试