高精度AFM,样品移动台：300×300mm 大行程二维电动样品移动台，快速选择感兴趣的样品区域,载物台：直径300mm 带真空吸附功能的超大样品载物台,扫描器：100×100um 大范围高精度闭环平移式压电扫描器，标准光栅定标精度
AFM 扫描范围：100um×100um×10um
AFM 扫描分辨率：XY 向0.2nm，Z 向0.05nm
AFM 扫描速率：0.6Hz~4.34Hz
AFM 扫描角度：0~360°
样品尺寸：Φ≤300mm，H≤20mm
样品台移动范围：300mm×300mm
Profile 线测量长度：1mm
