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可测量深度方向的电阻率图谱,外延层厚度,PN结深度,载流子浓度剖面图
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测量范围:1~10E+9 Ω[扩散电阻]
载流子浓度范围:
2E+13 ~ 5E+19 cm2 [N型]
2E+14 ~ 7E+19 cm2 [P型]