测量系统由测量主机(RT-70V)和平台组成
<测量主机 ; RT-70V >
通过旋钮调整输入样品厚度
主机带自我测试功能,及自动切换测量档位功能
<测试平台>
可根据实际测量应用从下列平台中选择
(1) RG-7C: 电动测量探头上下移动
(2) RG-7S: 手动测量探头上下移动
(3) TS-7D: 手持式测量探头. *样品放置板为选件
样品尺寸:
基于所选择的平台而定
圆形样品最大支持300mm(12 inch),或方形最大尺寸730x920mm
测量范围:
[R] 1μ~3M Ω・cm
[RS] 5m~10M Ω/sq