全自动四探针面电阻测量系统

  • 产品型号:WS-3000
  • 制造原厂:Napson Corp.
  • 4个不同规格探头自动切换

    [无需根据样品特性不同而手动更换探头]

  • 离边1mm测量能力

  • 高速测量实现高性价比

  • 兼容FOUP,具备GEM/SECS通信    


  • 样品尺寸:
    ~300mm(可选具备200mm)

  • 测量范围:
    [RS] 1m~10M Ω/sq