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4个不同规格探头自动切换
[无需根据样品特性不同而手动更换探头]
离边1mm测量能力
高速测量实现高性价比
兼容FOUP,具备GEM/SECS通信
样品尺寸:~300mm(可选具备200mm)
测量范围:[RS] 1m~10M Ω/sq