English
繁體中文
可测量膜厚均匀性,微棱镜均匀性,及PSS高度均匀性,也可以测的一些尺寸较大的异物,以及刮伤等不良处
可采用红,蓝,及白光
支持SEMI 150-300mm晶圆,FPD G10.5以下,或LED 50-150mm芯片
最小可检测颗粒大小28um