表面缺陷宏观检测系统

  • 产品型号:Stealth
  • 制造原厂:TOHO Electronics Inc.

可测量膜厚均匀性,微棱镜均匀性,及PSS高度均匀性,也可以测的一些尺寸较大的异物,以及刮伤等不良处    


  • 可采用红,蓝,及白光

  • 支持SEMI 150-300mm晶圆,FPD G10.5以下,或LED 50-150mm芯片

  • 最小可检测颗粒大小28um