全自动化的光学检测系统，用于分析不透明，透明和半透明晶圆的缺陷。 nSPEC®通过详细的报告和绘图提供快速的量化和缺陷鉴定。
nSPEC®可以成像和分析基板和epi晶圆以及图案和切块晶圆以及单个设备。该系统具有多个放大倍数，以充分表征缺陷的频率和类型。 nSPEC®还提供完整的晶圆快速扫描和镶嵌。用户可以轻松定义报告和统计功能。
光路系统
LED白光照明
明暗场镜头,5x和10x
DIC对比技术
偏振和分析功能
样品台
200mm, XY移动样品台
中心负载,5磅最大
重复性,±2um
精密铝合金板不锈钢轨道
解析度, ,±2um
样品盘,2-12inch可选
标准镜头
像素面积,4.54um
图像尺寸 2552*2200
最大帧率,8fps
控制主机
电脑和摇杆控制
自动聚焦
电脑控制照明,镜头的选择
