电化学CV测试仪是一种定量的载流子浓度纵向测试系统,其采用全自动电化学CV测量方法，使用自动抽取装置和复杂流体控制技术,将酸碱电解液以精确的数量与被测材料的表面发生化学反应,将其腐蚀掉的材料进入电解溶液中,可以精确量测及分析半导体和太阳能电池材料中,不同深度的载流子浓度等参数,对于半导体材料PN结不同深度的掺杂浓度进行测试,从而可以判断PN结的结深,不同nm深度的载流子浓度.呈现出半导体材料的内部结构
载流子浓度范围 1013cm-3 - 1022cm-3(与材料有关)
材料腐蚀深度 0-无限深度
腐蚀解析度 1nm(与材料有关)
载流子频率 0.3kHz-50kHz
信号增益 0-400mV,峰峰值
偏置电压 ±10V.
电流积分器 ±2%,最大到1024µA
击穿电压 40V,AC
光源 白光源,配备电流控制器,可改变输出光强
可测材料 Si, SiC, III-V化合物,III-N化合物.II-VI化合物
