FilmTek™2000 SE台式计量系统提供了无与伦比的测量性能，多功能性，以及无图案薄至厚膜应用的速度。它非常适合学术和研发环境。FilmTek™2000 SE结合了光谱椭偏法和DUV多角度偏振反射法，可同时测量薄膜厚度，折射率和消光系数。
膜厚范围：0到150μm
膜厚精度：NIST可溯源标准氧化膜的±1.0Å100Å到1μm
光谱范围：240nm到1700nm（240nm到1000nm是标准）
测量点尺寸：3mm
样品尺寸：2mm到300mm（150mm标准）
光谱分辨率：0.3-2nm
光源：调节氘卤素灯（寿命2000小时）
检测器类型：2048像素Sony线阵CCD阵列/ 512像素冷却滨松InGaAs CCD阵列（NIR）自动对焦自动平台300mm（标准为200mm）
计算机：带有Windows™7操作系统的多核处理器
测量时间：〜2秒（例如氧化膜）
