FilmTek™3000组合反射透射分光光度计提供高效率和准确的传输和反射测量沉积在透明基板上的未图案化的膜。它非常适合测量非常薄的吸收膜的厚度和光学常数。FilmTek™3000是一个完全集成的软件包，结合了DUV-NIR光纤分光光度计，自动舞台和先进的材料建模软件，使得即使是最严格的测量任务也可靠和直观。
薄膜厚度范围：3nm至150μm
膜厚精度：NIST可追溯标准氧化物的±1.5Å1000Å至1μm
光谱范围：220nm至1700nm（标准为240nm至1000nm）
测量点尺寸：3mm
样品尺寸：2mm至500mm
光谱分辨率：0.3-2nm
光源：稳定的氘卤灯（寿命2000小时）
检测器类型：2048像素索尼线性CCD阵列/ 512像素冷却滨松InGaAs CCD阵列（NIR）
计算机：多核处理器与Windows™7操作系统
测量时间：每个站点<1秒（例如氧化膜）
