Trek型號為646的軟件驅動的靜電吸盤電源供應器具有顯著的優勢和功能，可滿足各種苛刻要求的應用場合。從已記錄的用戶使用情況可看出，用戶使用我們設備的效率可達到使用其他電源的三倍。此外，646基本解決了粘性晶圓和晶圓爆裂問題，從而確保更好地控制顆粒汙染。
鑒於646型的多功能性和以及優異性能，壹臺設備滿足多種獨特的工具/工藝流程。因此無需再為不同工藝中搭配不同應用場合的電源。
典型應用包括
l 材料的靜電驅動處理
l 半導體晶圓加工
l 非機械轉移的平板或其他加工材料的機械切割
特點和優點
l 同時支持Coulombic和Johnsen-Rahbek ESC技術
l 用戶可自定義波形
l 靜電卡盤配置文件可以上傳到設備並通過友好的用戶軟件界面存儲在內部
l 可記錄減少背面氣體錯誤，增加吞吐量，並消除粘滯/爆裂晶圓
l 可鎖定的前面板控制界面
l 能控制各種參數，如過流，晶圓存在和晶圓鉗位閾值，鉗位電壓，偏移電壓和內或外部幅度/偏移控制
l 晶圓檢測可不包括晶圓，晶圓存在或晶圓夾緊狀態
l 包括進程內可調振幅/偏移和輸出控制的多功能性
l 可以通過背面板I / O輸出，串行計算機命令或前面板控制進行控制
l 每臺設備提供NIST可溯源校準證書
l CE標準
輸出
同時輸出高電壓：在相對於偏移電壓的情況下，兩路高電壓同時輸出（A相輸出和B相輸出），在幅度上相等，且極性上相反。
輸出相位
輸出電壓A（參考相）：0至±3 kV
輸出電壓B：0至±3kV（B相= [-1]×A相）
偏移電壓：
高達±3 kV的偏移電壓可能會同時添加到每相的輸出。當添加偏移電壓時，無論A和B電壓本身的幅度和極性如何，偏移電壓的極性和幅度都會同時出現輸出A和B上。各相的偏移電壓和輸出電壓之和不能超過±3 kV
波形輸出：
每個直流輸出電壓（A相和B相）上升和下降，都有對稱的上升和下降時間，或者可以用用戶自定義鉗位和衰減波形進行編程
輸出電壓範圍：最大值0至±3 kV DC，
輸出電流：0至±6.5 mA DC，峰值功率為10 mA
輸入
設置高壓幅度：HV幅度可以在設備的外部或內部進行控制
設置偏置電壓：偏置電壓可以在設備外部或內部進行控制
輸出電壓監視器（後面板連接器）
比率因子：1 V / 300 V.
B相DC：精度優於滿量程的2％
偏移電壓：小於10 mV
輸出噪聲：小於50 mV rms *
穩態電壓泄漏電流監視器
比率因子：1 V/ 1μA
直流精度：±0.1μA
輸出噪聲：小於50 mV rms *
特點
聯鎖：提供連接以支持聯鎖安全配置。如果聯鎖打開，高壓產生的電路會被關閉
數字顯示：40X2 LCD字符顯示器可顯示各種系統功能，如設置電壓，輸出電壓和電容監視狀態
鉗位晶圓檢測功能（閾值由程序設置）：
為了指示晶圓鉗位事件，由低電壓正弦波產生的電容電流，在相位a和階段B輸出上疊加，可被監控，但也可以通過程序禁用。疊加波形用於指示無晶圓，有晶圓存在或晶圓夾緊狀態
電容負載選擇：
根據系統和靜電鉗位物理配置，在0至10,20或30nF（逐相）的程序中可以選擇鉗位電容狀態範圍。
機械
尺寸：88.1 mm 高x 431.8 mm 寬 x 531.9 mm 深（3.47”高 x 17”寬 x 20.9”深）占1U機架
面板寬度：482.6mm（19”）
重量：8.5 lbs（3.86 kg）
連接器：15針“D”ITT佳能作用於遠程設備用於控制/監控設備，9針“D”ITT 佳能 RS232，3針FCT“D”高壓，標準A型USB，以太網（可選項）和前面板
電源開/關：2位搖臂開關
機械規格
尺寸：43.7 mm 高x 421.6 mm 寬 x 457.3 mm 深（1.72”高 x 16.6”寬 x 18”深）占1U機架
面板寬度：482.6mm（19”）
重量：8.5 lbs（3.86 kg）
連接器：15針“D”ITT佳能作用於遠程設備用於控制/監控設備，9針“D”ITT 佳能 RS232，3針FCT“D”高壓，標準A型USB，以太網（可選項）和前面板
電源開/關：2位搖臂開關
運行條件
溫度：0°C至35°C（32°F至104°F）
相對濕度：85％，非凝結狀態下
海拔高度：到2000米（6561.68英尺）
電氣直流輸入插座：
2.0mm鎖定DC插孔;中心觸點為正極，外殼為負極（插座與Switchcraft S761K插頭配合使用）
接地插座：接地螺柱
電源要求：24 V DC，2A
提供的配件
操作手冊，SW PN：24010
USB電纜高壓連接器PN：BA103 PN: B8076R
DC插頭（S761K）Switchcraft PN：BA119R
電源線，保險絲可按實際使用的目的地位置選擇
可選配件
90-264 V AC至24 V DC電源適配器：PN：IK045
備註
Trek 646型也是該儀器的±3 kV版本。
請聯系工廠了解更多信息。
