集成電路工藝

電阻率/PN性/少子壽命

擴散電阻濃度測試儀

產品型號：SRS-2010
制造原廠：Napson Corp.

SRS-2010是由日本Napson公司推出的擴展電阻量測設備。

可測量深度方向的電阻率圖譜，外延層厚度，PN結深度，載流子濃度剖面圖

樣品尺寸：
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測量範圍：
1~10E+9 Ω[擴散電阻]
載流子濃度範圍:
2E+13 ~ 5E+19 cm2 [N型]
2E+14 ~ 7E+19 cm2 [P型]

NAP-SRS-2010