四點探針面電阻值測試系統由5601TSR面電阻測試儀、 QT-50手動測試控制台所組成。本系統利用四點探針原 理測量出面電阻值/電阻係數;測量材質為晶圓或ITO膜 等材料。 測量尺寸可為晶圓或方形尺寸;不用計算即可直接測量 出面電阻值數值Ω/□。系統體積小,重量輕,容易操作, 具防靜電功能。可選配QT-60大尺寸手動測試控制台, QT-70自動探針測試台或ST-610A掌上型探頭進行測量。
應用:
太陽能光電材料
導電高分子材料
透明導電薄膜材料
ITO膜
奈米材料
小分子有機發光材料
高分子有機發光材料
生物晶片塗布材料
量測材質為晶圓或ITO膜等材料
量測尺寸可為晶圓或方形尺寸
不用計算即可直接量測出面電阻值數值 Ω/□
系統體積小,重量輕,容易操作,具防靜電功能
可選配QT-60大尺寸手動測試控制台, QT-70自動探針測試台或ST-610手持式探頭進行量測
最大顯示 150000(表面電阻Ω/□) /33000(一般電阻Ω)
取樣速率 4 samples/sec
顯示 六位元數, 7段LED(14.2mm)顯示
超載指示 “00000” 閃爍
量程選擇 自動和手動
超載保護 AC 330Vrms
工作電壓 AC90V~264V, 50/60Hz<15VA
操作溫度 0~50℃, RH≦80%
通訊介面 RS232, RS485
串列傳輸速率 1200/2400/4800/9600/19200/38400/57600/115200
尺寸 208mm(長) x 91mm(高) x 280mm(寬)