全自動矽片分選機(機械手式)

  • 產品型號:NC-2000FLA
  • 制造原廠:Napson Corp.

NC-2000FLA是由日本Napson公司推出的全自動矽片分選機。可提供電阻率, 厚度, 平坦度,PN TYPE及矽片直徑檢測等測量功能。並可根據客戶要求定制需要分選的晶圓盒數量,全程採用機械手及無損量測的方式運送矽片。


應用:3-12寸矽片


測試數據可通過CSV格式文件導出,支持SECS/GEM通訊協議。


  • 樣品尺寸:

         3-12寸


  • 測量範圍:

         0.0006~210ohm.cm


  • 厚度測量範圍:

        300-1300um, 或其他特殊範圍要求

        可增加平坦度測量功能,PN type測試, 矽片直徑等。