PG3000半自動探針臺是針對LED, MEMS, MOSFET, Diode等半導體組件，及GaAs太陽能晶圓生產線專用點測設備，該探針臺極為適合2"至300mm晶圓或partial wafer 測試應用。PG3000高速半自動探針臺也可由客戶針對不同 應用設定點測速度。PG3000也可根據客戶之不同應用選配 各類探針卡或客製化的chuck盤
X/Y軸:
架構:高精度循環式滾珠螺桿
行程: 300mmx300mm
解析度:0.5 um
精度:≤ ±7 um
重復性:±4 um
Z軸 架構:步進馬達驅動-線性軸承
行程:11.5 mm
分辨率:1 um
精度:±≦2um
重復性:±≦4 um
承重:10KG
測試平臺:
材質:高強度鋁合金 (表面鍍金/陽極處理)
真空開孔:200um孔徑 (可特別訂做)
平整度:15um
CCD探頭
1024X768 pixels
掃描區域:
12.8 mil~ 128 mil
