德測所開發的PG101-RF為一款手動高頻探針台, 專為實驗室研究分析所設計, 標準150mm尺寸平台可搭載不同應用之高頻探針並支援各式量測儀器。量測平台亦可選配高溫配置最高溫度可達200℃
多項彈性加裝配件, 讓您的量測更加方便。
特點
· 標準尺寸為150mm, 亦可多種尺寸客製化
· 可選200mm尺寸平台(PG102-RF)
· 操作簡易, 定位快速
· 任意測試儀器搭配
· 量測平台可設計多真空細孔或同心圓環孔
· 平台可選配最高200度C加熱平台
· 獨立高絕緣頻蔽設計
· 漏電流<10fA
· 可選配落地型屏蔽暗箱
· 可選配高頻校正片
技術規格
· 6”鋁合金鍍鎳載盤
· 2”/4”/6”三真空孔可切換(或同時開啟)
· X-Y軸移動範圍:6”X6”(10μm解析度)
· Z軸上下調整距離: 10mm
· Theta軸可調(選配)
· 最多支援4個磁吸式探針座
· 探針:依照不同應用GGB, APT任意型號配合(GSG, GS, SG)
· 射頻40GHz~67GHz; 2端口~4端口
· 尺寸:420mmWx420mmDx500mmH(含顯微鏡)
· 重量:30kg(含顯微鏡)
· 顯微鏡技術規格
目鏡可調倍率:20X
物鏡放大倍率:0.67 ~ 4.5X
最小可視面積:2.7mm直徑
360度LED環形照明光源
· 使用條件
電源:AC 100~240V(50/60Hz)
真空:-250mmHg,7公升/分鐘