12”半自動晶圓探針台

  • 產品型號:S300
  • 制造原廠:Wentworth Laboratories
  • pegasus™s300 晶圓探針台是一款經濟的半自動探頭, 用於將全部和部分晶圓測試到 300 mm, 對於低體積探測、設計驗證、故障分析和探測封裝元件特別有效。

  • pegasus™s300 晶圓探頭具有精確的解析度和可重複的精度。 其模組化設計可滿足廣泛的生產力提升和現場可升級選項。 探測是通過探針卡或微探針座完成的。 

  • pegasus™s300s 的機械結構、顯微鏡安裝和多個程式控制探頭都可以通過操縱杆進行控制。 

  • pegasus™s300 探頭系統也可以使用所有業界認可的通訊協定進行控制。


  • TTL、乙太網 (10baset)、RS232 和 IEEE 488通訊模式 輕鬆集成C CD和Wentworth 實驗室™ 控制和監視軟體

  • 遠端鍵盤, 易於操作

  • 可用於輔助探測的各種附加元件

  • 電動平臺用於控制探針卡上下移動保證安全性

  • 半自動兩點晶圓對齊, 減少設置時間

  • 模組化設計, 可輕鬆進行現場升級

載片平臺

x-y平臺

高精度滾珠絲杠和步進電機

  • 行程 310x310 毫米

  • 解析度 1.25 微米

  • 重複 ±4.0 微米

  • 精度 ±7.0 微米

  • 平整度 8μm

  • 最大速度 100mm/秒

Z平臺

精密滾珠絲杠和步進電機

  • 行程 11毫米

  • 解析度 1微米

  • 重複 ±1.0μm

Θ平臺

  • 行程 ±8.0°

  • 解析度 0.000°

探针平台

  • 驅動類型 手動

  • Z行程 11.5 毫米

  • 材料 鍍鎳鋼

圖形化使用者介面

  • Windows 7、8.1 和10

通信介面

  • PC TTL, RS 232,GPIB (ieee488.2)乙太網

動力

  • 供電 100-240 VAC 50/60 HZ 自動選擇600VA

  • 真空 0.5 cfm @ 20 "hg (分鐘)

  • 壓縮空氣 4帕/分鐘

外形尺寸

  • 探針台(不包括光學部分) 888x900x830mm 35x35.4x32.6 "

  • 控制器 450x480x180mm 17.5x19.5x7 "

重量

  • 探針台 100公斤

  • 控制器 13千克