集成电路工艺

电阻率/PN性/少子寿命

四点探针探头

产品型号：4-point probe head
制造原厂：Napson Corp.

Napson的高性能四探针探头是由英国Jandel公司提供Jandel探头针对硅片，外延层，扩散层，ITO层，金属层及其他薄膜层提供高精度面电阻和电阻率测量，并且通过多年市场验证。

探针材料: TC [碳钨合金] (或 OS: 锇合金)
半径: 40 um (25 um 至 500 um)
载重 (g/针): 200ｇ　(10g 至 250g)
针间距: 1.00 mm　 (0.5 mm 至 1.59 mm)
针排列方式: 直线 (标准) (方形可选)

NAP-4-point probe head