FilmTek™Solar是一款精确而经济的薄膜厚度测量系统，专为纹理基材而设计。与竞争的椭偏仪设计不同，FilmTek™Solar不需要特殊的台式倾斜或样品对准。通过将小的测量光点尺寸与大的收集角度相结合，可以获得粗糙和纹理化的基板的极好的信噪比，而无需样品对准。 FilmTek™软件自动模拟纹理单晶硅基板的多次反射，以提供准确的胶片测量。 FilmTek TM太阳能特别适用于在织构化硅衬底（例如，沉积在单晶硅和多晶硅衬底上的氮化硅膜）上测量抗反射涂层。
薄膜厚度范围：3nm-150μm
薄膜厚度精度：NIST可溯源标准氧化物1000Å到1μm的±2Å
光谱范围：240nm-950nm测量光点尺寸：1mm
样品尺寸：2mm到156mm
标准光谱分辨率：0.3nm
光源：调节的氘 - 卤素灯（2000小时寿命）
检测器类型：2048像素Sony线性CCD阵列
反射静态重复性@ 600nm（1s）：0.01％
测量时间：每个部位<1秒（例如氧化膜）
数据采集时间：0.2秒
计算机：带Windows™7操作系统的核心处理器
