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电阻率,厚度,P/N极性及温度测量分选
具备自我测试功能,测量范围广
针对硅片电阻率测量,具有厚度/测量点位及温度补偿功能
Cassette数量可根据客户要求设计
CIM通信功能,兼容SMIF或FOUP
样品尺寸:3 ~ 8寸 (或 12寸)
测量范围:[R] 100μ~1M Ω・cm[RS] 1m~10M Ω/sq