全自动四探针硅片分选系统(机械手传送)

  • 产品型号:WS-8800
  • 制造原厂:Napson Corp.
  • 电阻率,厚度,P/N极性及温度测量分选

  • 具备自我测试功能,测量范围广

  • 针对硅片电阻率测量,具有厚度/测量点位及温度补偿功能

  • Cassette数量可根据客户要求设计

  • CIM通信功能,兼容SMIF或FOUP    


  • 样品尺寸:
    3 ~ 8寸 (或 12寸)

  • 测量范围:
    [R] 100μ~1M Ω・cm
    [RS] 1m~10M Ω/sq