半导体
集成电路工艺
硅片分选

非接触硅片分选系统（机械手传送）

  • 产品型号：NC-3000R
  • 制造原厂：Napson Corp.

  • 测量精度高，覆盖大尺寸硅片

  • 非接触式测量电阻率，厚度及P/N极性

  • 紧凑型设计，具备测量和传送两个平台

  • Cassette数量可根据客户需求设计

  • 选件:硅片平整度测量（FLA-200)    


  • 样品尺寸：
    支持6~8寸，或12寸

  • 测量范围：
    电阻率 1m ~ 200Ω・cm
    厚度 150 ~ 800μm (300μm 至 150～800μm)

  • 该测量范围由低，中，高，超高阻值的不同测量探头来覆盖    


NAP-NC-3000R
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