采用分光光谱反射法,利用内置白光光源产生可见光,将可见光利用光栅进行分光后,聚焦成2mm以内的光束,垂直照射在被测样品,利用CCD探测器获取反射光谱和透射光谱,并据此计算薄膜厚度.
薄膜厚度测试范围: 10nm-150um
薄膜厚度测试精度: 0.2nm,NIST标准氧化物薄膜
反射率和透射率测试重复性 0.01%, 600nm时
光谱范围: 380nm-950nm
测试区域直径: 1mm
样品尺寸: 2mm to 300mm standard
光谱分辨率: 0.2nm
光源: Regulated tungsten-halogen lamp (10,000 hrs lifetime)
探测器: 3648 pixel Toshiba linear CCD array
测试时间: <1 sec per site (e.g., oxide film)
数据获取时间: 0.2 sec
