基于显微镜的桌面系统
在400nm-950nm波长范围内测量表面法线方向的光谱反射
非接触式测量，光斑尺寸降至10um
在可见光范围内显示灵敏度的薄膜的厚度，n（l），k（l），能带隙和多层的测量
手动X-Y平台，带有6“×6”运动的旋钮
薄膜厚度范围：5nm至350μm（5nm至150μm是标准）
薄膜厚度精度：NIST可溯源标准氧化物的±1.5Å1000Å至1μm
CD精度（1σ）：<0.2％
光谱范围：380nm至1700nm（380nm至1000nm是标准）
测量光斑尺寸：2μm（5×10μm标准，10倍物镜）
样品尺寸：2mm至300mm（150mm为标准）
光谱分辨率：0.3-2nm
光源：稳定卤素灯（寿命2,000小时）
检测器类型：2048像素索尼线性CCD阵列/ 512像素冷却的滨松InGaAs CCD阵列（NIR)
