PL mapping系统，主要为化合物半导体快速全芯片Mapping设计的。NANOMETRICS公司的精心设计使RPM BLUE FSM可以在不影响光谱及空间分辨率的前提下达到超快速测量的目的。例如2英寸芯片1mm的空间分辨率，其光强度测量的耗时仅为19秒，就是说2026个点的量测可以在少于20秒的时间内完成；对于全光谱量测，同样的空间分辨率，只需25秒就可以完成峰值波长、峰值强度、半高宽、积分强度等参数测试
数据以R，θ方式收集、存储，并以X,Y坐标轴方式显示
数据和图像可输出至其它形式的软件包
显示比例与颜色可由用户设定或系统默认
全光谱扫描,并对峰值波长、峰值强度、半高宽、积分强度同步收集和显示
可以对芯片上任意一点进行单点光谱显示和存储
每秒可以收集180个点的全光谱或2000个点的强度图谱
用户自定义数据筛选功能
统计数据以数字或柱状图显示
可分析合金成分
可以对系统参数和测量参数自动分段
选择附加功能选项可完成薄膜厚度，布拉格反射体和VCSEL的特性量测
