RT-3000/RG-2000(3000)是由日本Napson公司推出的高精度半自動四探針電阻率量測設備。它可以通過電腦進行控制，編輯測試需要測試的矽片大小，測試點位，運用四探針電阻率量測的原理進行多點測量，可以通過軟件輸出2D/3D Mapping圖，更高效的完成測量任務。
用戶可編程的測量模式
測試儀擁有自檢功能，測量範圍寬
以及矽片的厚度，邊緣和溫度校正
金屬薄膜厚度轉換等功能
應用：半導體材料、太陽能電池材料(矽、多晶矽、碳化矽等)，新材料、功能材料(碳納米管、DLC、石墨烯、納米銀線等)
導電薄膜(金屬、ITO等)，擴散層，矽相關外延材料，離子注入樣品。
有多點測量功能(最大1225點)，支持Mapping功能，提供2D圖/3D圖像分析。
測試數據可通過CSV格式文件導出。
符合以下ASTM & JIS的要求
JIS H 0602-1995,JIS K 7194-1994。
< ASTM >
ASTM F 84 - 99(SEMI MF84)
ASTM f374 -00a,
ASTM F 390-11,
ASTM F 1529-97
樣品尺寸：
RT-3000/RG-2000支持最大8寸
RT-3000/RG-3000支持最大12寸
測量範圍：
V/I 電阻: 1m ~ 3M ohm
方阻: 1m ~ 10M ohm/sq
電阻率: 1μ ~ 1M ohm.cm
