PG2101半自動探針台是針對LED Flip Chip元件所設計的 生產線專用點測設備，可以進行下收光及上收光的測試。
該探針台極爲適合2"至6”晶圓測試應用。 PG2101高速半 自動探針台也可由客戶針對不同應用設定點測速度。
PG2101也可根據客戶之不同應用選配各類客制化的chuck 盤。
X/Y軸
架構: 高精度循環式滾珠螺桿
行程: 210mm x 265mm
解析度: 0.5 um
精度: ≦±7 um
重複性:±4 um
Z軸
架構:步進馬達驅動-線性軸承
行程:-0.5 ~ 7.5 mm
解析度:1 um
精度:±≦ 2um
重複性:±≦4 um
承重:10KG
Theta軸
可調角度:±10度
解析度:0.001度
Chuck盤
材質: 石英玻璃
真空開孔:500um孔徑 (可訂製)
平整度: 10um
選配
支持4個獨立探針座
2個打墨器
探針卡承接座
CCD Telecentric Lens 0.5X
搭配積分球特殊結構設計並可選配各類顯微鏡
